SEMI E30标准解析（二）_GEM三大控制状态——谁在控制设备？

一.为什么需要三种状态在进入细节之前先问一个问题为什么不只用「在线」和「脱机」两种状态就好原因是设备在工厂里会经历不同的生命周期阶段阶段控制需求维修保养设备正在被维修人员拆解检修绝对不能让主机下达生产指令调机测试工程师站在设备前手动操作、验证新制程主机只需要监看数据正式量产设备全自动运作由MES系统完全控制不需人工介入不同情境需要不同的控制权限——这就是 GEM 设计三种状态的原因。二.三种状态总览状态谁在控制主机可以做什么HOST主机不能做什么OFFLINE脱机无人控制只能做基本通讯确认S1F13/S1F14不能查数据、不能下指令ONLINE LOCAL本地操作员设备面板查数据、收警报、收事件制程中不能做:下達任何會影響当下制程的命令或修改任何会影响当下制程作业中的设备常数ONLINE REMOTE远程主机MES/EAP查数据、收警报、收事件、下远程命令无限制完全控制2.1OFFLINE脱机——飞航模式定义设备处于脱机状态时虽然与主机之间有实体联机但不接受任何操作指令。什么时候使用设备正在进行维修、保养、校准设备刚开机、尚未完成初始化设备正在进行自我检测HOST主机可以做什么✅ 发送 S1F13Are You There确认设备是否在线✅ 接收 S1F14Yes, I Am确认设备回应HOST主机不能做什么❌ 不能查询任何设备数据温度、压力等❌ 不能下达任何操作指令开始、停止等❌ 不能上传或下载配方2.2ONLINE LOCAL本地——手动模式定义设备处于在线本地状态时控制权在操作员手上由设备面板进行操作。完全禁止HOST主机下达会导致物理动作或启动制程的远端命令。什么时候使用工程师在现场进行调机、试跑新制程的验证与测试需要人工判断与介入的特殊情况HOST主机可以做什么✅ 查询状态变量温度、压力、转速等✅ 接收设备发送的警报通知✅ 接收设备发送的事件报告✅ 查询设备常数与数据变量HOST主机不能做什么若是在制程中不能做以下事项❌ 不能下达任何会影响当前制程的命令❌ 不能修改任何会影响当前制程作业中的设备常数2.3ONLINE REMOTE远程——自动模式定义设备处于在线远程状态时控制权完全交给主机由 MES 或 EAP 系统自动指挥设备运作。什么时候使用设备正式投入量产全自动化生产线的日常运作无人化工厂Light-out Factory的目标状态HOST主机可以做什么✅ 查询所有设备数据SV / EC / DV✅ 接收所有警报和事件通知✅ 下达所有远程命令START / STOP / PAUSE / RESUME / ABORT✅ 上传与下载配方✅ 完整的设备控制权三.篇章总结记忆点说明✅三种状态对应三种情境OFFLINE维修LOCAL调机REMOTE量产✅状态由操作员控制透过设备面板切换主机不能强制改变✅LOCAL ↔ REMOTE 不能直切必须先回到OFFLINE再切换